現(xiàn)在電子氣體的使用越來(lái)越多,半導(dǎo)體的生產(chǎn)、LED的生產(chǎn)、晶體加工、精密加工等行業(yè)帶來(lái)很多麻煩,這些毒氣的檢測(cè)都離不開(kāi)硅烷(SIH4)傳感器
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